“动态”干涉仪区别 原理

目前市场上几个厂家都推出“动态”干涉仪，本文主要介绍一下这些动态干涉仪的区别：

首先，干涉测量技术可归类为以下三种方法：

相移干涉术：对同一表面，采多幅不同相位的干涉图进行计算，获得表面数值
动态干涉术：CCD曝光一次就完成测量，从而缩短测量时间 ，但不是相移干涉
动态相移干涉术：CCD曝光一次就获得所有的相位信息，从而实现相移计算

市场上几种动态干涉仪的区别：

动态非相移干涉仪
4D AccuFiz-S系列；Z*** DynaFiz系列
以上两款均采用载波软件分析方式实现动态测量

动态相移干涉仪
4D PhaseCam系列、FizCam1000系列、FizCam2000系列、FizCam3000系列；E*D* H2000系列

具有倾斜误差的动态干涉仪
4D FizCam1000系列、AccuFiz-S系列；E*D* H2000系列；Z*G* DynaFiz 系列

动态相移的原理
4D 动态相移原理：
采用偏振光干涉技术，s、p偏振分量分别携带样品和参考表面的信息，通过相位板后发生相移干涉

4D 所有动态干涉仪的设计都是为了实现这一目的





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