[讨论] 各位大侠,有谁知道镀膜材料A99的主要成份是什么吗?

 火...
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发表于 2013-7-18 11:02:41|广东 | 查看全部 阅读模式
悬赏10光电贝
各位亲们,我用A99和SIO2镀45度高反470要R大于99。5%,镀了后测分光发现470至400那里有吸收啊,我用的工艺是烘烤加热到300度,开始镀膜真空是4。0E负三帕,镀A99的充氧控制在1。0E负二帕,SIO2不充氧,晶控速率是A99为0.4NM/S,SIO2为0.7NM/S.请问我这种工艺镀出来为什么有吸收呢,A99到底要充氧还是不要充氧呢?

回复|共 3 个

新手求教 Lv.7 发表于 2013-7-20 22:19:37|江西 | 查看全部
A99我也在用,具体成分不知道,好像是H4的替代品,成膜真空可以再低点,镀膜时保持在5.0-3PA,A99一定要充氧的
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xiao2011 Lv.8 发表于 2013-7-21 23:16:44|广东 | 查看全部
不要充氧吸收不是更大?
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yin000 Lv.6 发表于 2014-6-15 13:17:26|广东 | 查看全部
A99充氧应控制8.0-3PA就好了!
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