likeoe请注意，你认为台阶仪直接测膜厚，准确度高一点。透射率不是无法得知了么？

michaelzhj · 发表于 2004-9-25 00:17:00

我想知道，你开始在基片上做台阶，那透射率不是无法得知了？

zz · 发表于 2004-9-26 05:23:00

那肯定

heyanch · 发表于 2004-9-28 00:52:00

以下是引用michaelzhj在2004-9-24 16:17:21的发言： 我想知道，你开始在基片上做台阶，那透射率不是无法得知了？

没听懂.

wish · 发表于 2004-10-3 16:52:00

怎么会呢？你在没有台阶的地方还不是照样测量透过率或其他性能，在有台阶的地方可以测量膜厚，不过这个台阶要做得比较好才可以。