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[技术] 可测晶振探头温度的新型石英晶体膜厚控制系统

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发表于 2015-6-1 02:02:14 | 显示全部楼层 |阅读模式

美国Colnatec 公司推出新型的石英晶体膜厚控制系统,在如下几个方面有突破:

1) Phoenix 晶振探头,集成热电偶,可测量镀膜时晶振片的温度,从而优化测量准确性。

2) Tempe 晶振探头,集成热电偶,同时集成晶振探头加热装置, 可以加热和控制晶振片的温度(比如到90度),
      可消除MgF2和SiO等薄膜带来的噪音,可以延长晶振片的使用寿命4-5倍。
      对于50层或更多的介质膜层,连续沉积在晶振片,加热晶振片,可延长晶振片的使用寿命。

3) RC 切割的晶振片,使用先进的制造技术通过调节晶振片的应力系数,RC晶振片不受因蒸发源辐射和薄膜应力的
      造成的频率漂移的影响。
      
    相对于传统的AT切割的晶振片,RC晶振片,可以大幅减少因蒸发源挡板打开瞬间带来的频率下降,
     在监控多层薄膜(<10nm)时更精确。

4)Eon-ID 控制器的最高频率分辨率+/- 0.001Hz·@6MHz (一秒测量一次 )

常规的光学应用:
1) Eon-ID 控制器 +  Phoenix 晶振探头(可测温) + AT切割或RC 切割的晶振片, 可替换XTC/3, 部分替换IC-6 ;
2)Eon-ID-H 控制器 +  Tempe 晶振探头(可加热和测温) + AT切割或RC 切割的晶振片,可替换 IC-6 ;

若需要详细了解,可联系lisx2525@163.com 相互交流和沟通。
发表于 2015-6-1 09:02:22 | 显示全部楼层
0.001Hz@6MHz 每秒1次 还是不提出来的好,呵呵。真的了解 Ix公司 的 XxC及Ix系列的话,就知道20年前就超过这个水平了。 3x0系列不是原Ix公司产品, 被作为低档产品卖到国内的。
晶控仪要替代Ix原产品,还是低调点吧。若要替代我公司的产品,请再低调点。

探头装加热及测温提高 寿命, 能做 50层。   你可以去问问我公司用户可以做多少层。 对了,我公司网站上有部分截图。

...
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 楼主| 发表于 2015-6-4 16:13:32 | 显示全部楼层
每一家都有产品都有自己的特点, 0.001Hz@6MHz 每秒1次 , 一秒测试多少次,这个是可以设定的。
每一家公司只说自己的产品特点,    只说具备同等的功能, 请看清楚别人表达的意思。
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发表于 2015-6-4 18:20:19 | 显示全部楼层
本帖最后由 MorningTech 于 2015-6-4 19:18 编辑

能提出这种规格,大概就知道产品属于什么类型的。此一性能看上去比3x0要好一点。
但不要轻言更换3x0,它们在国内光学镀膜行业有不少用户先例的。更不要轻言替换XxC及Ix,它们与3x0不是一个档次的产品。
每件产品有自己擅长的领域吧。仅对光学镀膜行业来说,耐高温探头比较有新意,但实用性有待实践检验 或能给出实例证明更好。

首先得尊重对手,了解对手,然后才谈得上去合作与竞争。
市场最终是靠产品自己说话的。

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发表于 2015-12-14 10:39:57 | 显示全部楼层
提升温度是有效果的,而且温度可以调节是最大的优势,请联络我楼主xiaohuh@kdomgd.com
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发表于 2016-2-22 12:11:08 | 显示全部楼层
有些兴趣,希望要点详细技术资料
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