MEMS器件运动与3D形貌实时测量技术

基于菲涅尔衍射的数字全息重建技术测量动态的3D形貌，精度达到了亚纳米级别并且纵向做到了亚纳米分辨率。

细胞分裂3D形貌检测

细胞分裂过程3D形貌监测

不同于传统白光干涉仪、共聚焦显微镜、扫描探针轮廓仪等需要扫描的成像方式，数字全息技术仅需0.001秒采集单张全息图即可测出物3D形貌信息，做到了快速动态监测。
案例视频
http://v.youku.com/v_show/id_XOTMwNDE0ODE2.html?spm=a2h0j.8191423.module_basic_relation.5~5!2~5~5!8~5!2~1~3~A
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微执行器

微执行器

薄膜形变监测

原理：
和传统全息术不一样的是没有采用干板而是采用CCD记录全息图，全息图中
光强图：提供与传统显微镜一样对比度的图像
相位图：提供量化数值，得以对被测物体进行精确三维测量
该系统为预放大全息显微镜，其中的相位图解析中用到了大量的算法，实时相位解包裹技术
实时形貌测量的案例二：石墨烯薄膜受力形变实时测量