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导电膜

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发表于 2005-6-16 21:12:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问各位高手,谁能告诉我导电膜是什么类型的,材料?蒸镀方式和膜系的基本结构,我是做光通讯多层介质膜,对这个相关的膜一点都不了解,谢谢各位的指教了
发表于 2005-6-17 00:13:00 | 显示全部楼层
你说的只是导电膜还是透明导电膜,如果是导电膜材料只有金属或者半导体都可以。不过我想你说的应该是透明导电膜,材料一般是In2O3和SnO2的混合材料,一般有磁控溅射和蒸镀两种方式,磁控溅射方式的话In2O3和SnO2的比例一般是90%:10%at,而用蒸镀方式材料比例在95%:5%左右,根据你需要的电阻来确定膜厚,膜厚越厚电阻越低。
发表于 2005-6-17 06:17:00 | 显示全部楼层
膜厚和电阻之间怎么折算?
发表于 2005-6-17 06:31:00 | 显示全部楼层
电阻=膜厚X电阻率,电阻率主要由材料,镀膜方法,工艺决定。
发表于 2005-6-17 20:18:00 | 显示全部楼层
有个问题请教coatingli:
如果工艺稳定的情况下电阻率应该是一个定值吧?但是怎么会在你上篇帖子里,说"膜厚越厚电阻越低"呢?这不是矛盾的吗?
请赐教!
发表于 2005-6-18 02:04:00 | 显示全部楼层
sorry,有笔误,是电阻率=膜厚X电阻,当电阻率一定时,膜厚增加,电阻降低。
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