论文：APS1104 真空镀膜机等离子源故障诊断与排除等两篇

那只虾 · *发表于* 2006-2-11 21:17:00

（因上网原因，需要者请发信到：aps1104@126.com，2006-12-08）

Leybold机的问题解决还是不容易，希望大家相互认识、共同解决各种报警。
1、APS1104 真空镀膜机等离子源故障诊断与排除.pdf
APS1104 镀膜机的等离子源系统工作时，等离子源加热器TP250 控制单元要在300s 时输出一个确认信号：即电压、电流
分别随控制指令从0V、0A 开始工作至300s 时达到10V（固定值）、220A （可根据工艺要求设定，最大可达250A）。当加热器输出电压、电流与指令相匹配，并达到所设定的工艺参数值时，气体挡板阀打开，氩气与氧气在真空室内混合。由于在阴极与阳极之间加入了直流电压（由TP250 控制单元产生），而产生辉光放电，形成了等离子体。等离子体中的电子在磁场的作用下，在源与基片之间形成均匀的等离子区，等离子体与成膜材料粒子相互碰撞，形成致密的薄膜。加工完成后，等离子源加热器电压、电流输出停止，等待下一次操作。
2、高质量非规整多层膜自动制备的研究.pdf
为解决专门制备DWDM薄膜滤光片的Leybold APS 1104DWDM镀膜机制备包含几十层膜层的非规整膜系存在一定
困难的问题,分析了非规整膜系光控曲线中关键区产生的原因,认为这是触发点位置与非理想环境因素共同作用造成触
发点漂移产生的结果。误差校正功能的实现与监控曲线的走值趋势密切相关,曲线必须存在理论触发点和至少一个拐
点。实验结果表明,采用准规整膜系设计方法能有效避免关键区的危害,同时充分发挥误差校正的功能。利用该镀膜机
在精度、灵敏度和算法等方面的优势,设计出了与其配套的膜系,成功地制备了各种高性能薄膜滤光片。