关于请教激光干涉仪方面问题

lzxmam

我在用激光干涉仪测量平面光学零件时,请问在数据处理时要不要把POWERP这个选项加上,为什么?谢

小猪熊

如果测量用的是zygo干涉仪，测量平面面形，数据分析时不要去掉power，而需要去掉第一项常数和倾斜！如果要单独分析面形产生的各个像差，则根据需要逐项选择彗差、像散等选项。

常数项表示的是参考面和被测面之间的距离；倾斜很容易理解，表示二者间夹角。

干涉测量中的power是指离焦量，表征的是参考波面与被测波面半径上的差别。

在测量平面面形时，用的是平面参考镜。如果不去掉power分析数据，则表征的是被测面和标准平面镜之间除掉距离和倾斜后的差值。这个时候，得到的三维面形很可能存在一定的曲率，是一个类似穹形的形状，这也正说明该面的曲率半径没有达到infinity。如果去掉了power，则分析时也去掉一个与所得到实际波面最接近的一个球面，这时得到的数据是被测面和某个球面的差别而不是和平面的差别了。

在测量球面时，由于调整的过程中不可能把被测面与参考面的球心调到完全重合，因此，power包括了调整时的离焦，要去掉power来分析面形！

三面互检

分析的非常好，受教

minghe0712

说得好，向大家学习了啊！