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[讨论]短波光学

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发表于 2006-7-18 17:02:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
短波光学:VUV,EUV,Soft X-Ray,是下一代光刻技术的主要光源,其它应用也很多,国内搞这方面的单位和水平不知道怎样?
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