zro2,OH-5 光控极值变短了.....

z1206l · 发表于 2010-6-29 17:18:27

本帖最后由 z1206l 于 2010-6-29 17:20 编辑

这些基本上都是光控方面的问题了。
电压不稳什么的，然后出光亮会有些变化。

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-30 10:19:12

我镀膜的时候，极值数值经常变化，我想是我每次都调节电压和精度导致的。因为我镀的都是非规整膜系，需要不断的调节起始极值点。
每次的极值都应该不变的吗？如果是那样，是不是我的光控不稳？

ysc730603 · 发表于 2011-12-30 11:01:40

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 10:19
我镀膜的时候，极值数值经常变化，我想是我每次都调节电压和精度导致的。因为我镀的都是非规整膜系 ...

大哥能说下光控怎么玩非规整膜系吗？

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-30 11:05:01

ysc730603 发表于 2011-12-30 11:01
大哥能说下光控怎么玩非规整膜系吗？

我也在边摸边学啊，论坛里面玩晶控的多，玩光控的少。

ysc730603 · 发表于 2011-12-30 13:13:30

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 11:05
我也在边摸边学啊，论坛里面玩晶控的多，玩光控的少。

比如这个膜系怎么镀0.41ZRO2 0.19MGF2 1.57ZRO2 0.16MGF2 0.57ZRO2 1.13MGF2

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-30 13:26:00

ysc730603 发表于 2011-12-30 13:13
比如这个膜系怎么镀0.41ZRO2 0.19MGF2 1.57ZRO2 0.16MGF2 0.57ZRO2 1.13MGF2

每层的监控波长按照你的设计波长乘以系数，可以这样控制吗？

ysc730603 · 发表于 2011-12-30 13:30:20

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 13:26
每层的监控波长按照你的设计波长乘以系数，可以这样控制吗？

比如0.19*550=104.5NM我没法控制

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-31 08:28:46

ysc730603 发表于 2011-12-30 13:30
比如0.19*550=104.5NM我没法控制

我也有碰到过这种事情。有两种解决方式，一种就是修改膜系设计，将这个数值调节到你能控制的最小厚度，然后其他膜层对应优化。另一种就是要看你的镀膜机光控是否稳定，例如你每次的极值点都一样，那么就算出对应的数值，当光控走到这个数值时停止。