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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › IR-CUT透过率不高？

IR-CUT透过率不高？

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发表于 2007-8-23 21:15:05|广东 | 查看全部 阅读模式
有的大于90。有的小于90
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回复|共 6 个

dwzgy Lv.8 发表于 2007-8-23 22:29:02|湖北 | 查看全部
太简单了
多说点情况
最好有曲线
还有关键工艺参数
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niechunyang 楼主Lv.8 发表于 2007-8-29 20:19:35|广东 | 查看全部

IR-CUT

好的，我给你们资料明天，谢谢了，急呀
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niechunyang 楼主Lv.8 发表于 2007-8-30 20:10:02|广东 | 查看全部

IR-CUT

我们用的是光弛OTFC-1300,有栅考夫曼离子源, 用OS-50和SIO2(硅环)
OS-50压力1.6E-3,离子辅助离子源参数         O2 55sccm  Ar1 5sccm  Ar2 5sccm
400-630 那里透设率偏底,要都大于90%才行.
  不知道有那里疏忽了,请教师傅们,谢谢.急呀!!!
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dwzgy Lv.8 发表于 2007-8-30 23:07:13|湖北 | 查看全部
发张图上来看下
有清洗吗
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Frey Lv.8 发表于 2007-8-31 16:57:14|上海 | 查看全部

回复 #6 niechunyang 的帖子

你好！
几号机器？？？
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shaodong1311 Lv.8 发表于 2007-9-1 19:42:24|广东 | 查看全部
是不是你的膜系的初始设计不够宽啊,从400nm开始的,设计要做到390nm啊.
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