2050机器的均匀性问题

使用的不是光控，是晶控，

都一个原理，但你的设备比较大，很多厂家做的是水货机器，没有从沉积的原理去设计机器，如果你的操作没有错，哪可以要厂家将设计的参数拿出来，看合不合理。

原帖由 qx__wei 于 2008-6-11 09:09 发表
2050的机器，除了MASK的形状外，均匀性的其他影响因素都包括哪些！？谢谢，请指导！！！
一直没调好均匀性

qx_wei，均匀性调的怎么样了？

这么大的机器建议用行星架

均匀性是有多方面的因素影响。
你还是先做好重复性比较好。如果重复性不好，做均匀性是浪费，也做不好。
做，容易；做精，难啊。