有关脉冲激光沉积的透射镜

臭豆腐 · 发表于 2008-7-22 14:25:01

向大家请教个问题，脉冲激光（KrF）沉积系统用的聚光的透射镜用一段时间后是否需要更换新的啊？

kk7926 · 发表于 2008-7-22 19:35:29

不知道你说的沉积系统用的聚光透镜是什么意思 KrF是准分子激光器其泵浦方式多用放电泵浦激光器窗口多采用CaF2晶体作窗口石英窗口会腐蚀国产CaF2晶体透过率不好最好用进口的（有切身体会）
如果是用在激光器外光路中的反射镜或透射镜考虑到成本采用透紫外石英玻璃就行了没有必要更换

不知道说的是否清楚

kevin-zhu · 发表于 2008-7-22 23:26:27

由于KrF激光器一般为放电泵浦，会发出氟气，常时间沉积，会腐蚀腔镜的膜层，需要更换腔镜。一般腔镜的材料为CaF2，我公司代理美国Lambda公司的各种镜片，以准分子激光器镜片和CO2激光器镜片最为著名，如有兴趣可咨询kevin-zhu@koan.com.cn，13693225697，朱飞。