以下几种镀膜法谁玩过，用的哪家的设备

kaka · *发表于* 2008-9-16 16:15:22

Magnetron Sputtering
Ion Beam Sputtering
Phase Vapour Deposition
Ion Assisted Deposition

stonetiny · *发表于* 2008-9-16 19:36:11

Ion Beam Sputtering Veeco
Phase Vapour Deposition 南光

kaka · *发表于* 2008-9-17 16:35:02

原帖由 stonetiny 于 2008-9-16 19:36 发表
Ion Beam Sputtering Veeco
Phase Vapour Deposition 南光

能不能介绍下各有什么优点

hydralisk-1 · *发表于* 2008-9-18 11:37:15

Magnetron Sputtering  磁控溅射 SHINCRON RAS1100C  特点  量大  设备稳定性不错  产品外观一般膜硬（也会脱）
Ion Beam Sputtering    离子溅射 VEECO，没用过，在上光看到过一个
Phase Vapour Deposition Physical Vapor Deposition?物理气相沉积只要不是化学溶液沉积化学气相沉积之外的全是这个吧？
Ion Assisted Deposition 离子辅助沉积  现在市面的主流吧。基本上都的EB配ION。主要的区别还是ION，HALL  RF 考夫曼型。