IR膜问题

破冰而出 · *发表于* 2008-9-22 09:02:31

最近做，650±10NM 规格的IR膜，DOME外排出现透过区域部分整体偏低情况，请各位帮忙分析下。

420-630NM，透过率正常镀是92%左右，现在只有90%，

光控控制。

HOM2 · *发表于* 2008-9-22 09:41:37

不知道外排外到什么程度，如果是以前没有最近才有的又或者是不理它镀着镀着自己有好了，应该不是充氧不均的问题，应该是黑药被污染了或者是用的太久了。重新熔新药试试看吧！

zzzz · *发表于* 2008-9-23 11:11:27

是不是均匀性恶化了

破冰而出 · *发表于* 2008-9-23 12:53:54

外排当然是最外排了，伞的边缘那一圈，药材污染？
我们2台机器都出现了这种情况！

均匀性恶化是什么意思，能说的具体点么？前3圈都是正常的，只有
最外圈才这样，请各位帮忙分析！

gxbm · *发表于* 2008-9-23 15:27:23

什么设备？多大？

huang12949 · *发表于* 2008-9-23 21:08:49

修下修正板试试先.
找别的原因都是一些暂时性的瞎扯蛋.
如果修正板修了都没反应再找这些没法说的明白的原因吧.

niechunyang · *发表于* 2008-9-24 21:19:36

仁兄，你的滤光片什么要求，我也在做这个东西，可以探讨，你那个多少层，我做了记录也！

*发表于* 2008-9-24 21:47:20

问题解决了没有？？？？？？？？？？？

破冰而出 · *发表于* 2008-10-9 21:45:04

问题解决了，是侧壁太脏了，加热管太脏了，灰尘就会增加，这样影响氧气到达外排的几率。

lzh123jy · *发表于* 2012-5-24 23:40:49

可以是充氧的不合适，及离子源功率或角度的问题等等～～！

lzh123jy · *发表于* 2012-5-24 23:41:57

可能是充氧的不合适，及离子源功率或角度的问题等等～～！

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