膜表面的麻点,什么原因?

回复|共 18 个

ZHJ7239 Lv.8 发表于 2008-11-8 20:01:58|上海 | 查看全部
可能离子源打火所至,还有可能膜料喷溅引起
APS Lv.2 发表于 2008-11-14 14:42:57|上海 | 查看全部

回复 12# besst 的帖子

镀膜前有清洗过吗?如果一般超声波清洗不行的话,可以考虑等离子表面清洗活化
zguibin Lv.5 发表于 2008-11-17 08:01:15|浙江 | 查看全部
你的就是氧化钛预熔不够! 氧化钛料脏溅料了! 下次开镀前把材料预以下就OK了
lukaiyan Lv.6 发表于 2008-12-2 20:27:14|上海 | 查看全部
应该是针孔现象,把炉打扫干净,主要车间的空气湿度不要太干燥。
GR800322 Lv.7 发表于 2008-12-5 15:05:32|山东 | 查看全部
还要考虑夹具的因素!!!这里面很多因素,真要搞明白了,那你就牛X了!!!!!!!!!!搞镀膜的都知道主要是一下方面:蒸发源(材料,电子枪),真空室,基底,离子源,夹具等方面。但是真正原因和过程又有几人能说明白?????
GR800322 Lv.7 发表于 2008-12-5 15:12:52|山东 | 查看全部
还要考虑夹具的因素!!!这里面很多因素,真要搞明白了,那你就牛X了!!!!!!!!!!搞镀膜的都知道主要是一下方面:蒸发源(材料,电子枪),真空室,基底,离子源,夹具等方面。但是真正原因和过程又有几人能说明白?????
shjygx Lv.7 发表于 2008-12-5 16:46:51|上海 | 查看全部
摸一摸,摸得出就是材料喷溅

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