讨论下sio2在镀膜时冲o2的问题

yangmin · 发表于 2008-12-5 12:19:46

请各位同行讨论下,在镀多层介值膜时sio2冲o2对薄膜的牢固度影响有多大,

noodlesy · 发表于 2008-12-5 13:14:24

LZ相当于什么都没有说,一点都不具体,不好发表意见

GR800322 · 发表于 2008-12-5 14:27:36

但就充O2来说，个人觉得对牢固度不会有多大作用的！主要是对膜料的折射率，性能稳定性作用明显！！例如：Ta2O5要是不充o2，蒸发过程中有部分会失氧变成Ta2O3。基底温度，正空度，是否用离子源等对牢固度作用明显！！！

wukeyi28 · 发表于 2008-12-5 15:21:02

关注一下
以前我镀SIO2没有充吧镀TIO2充了

shjygx · 发表于 2008-12-5 16:56:54

影响真空度。

chris_yun1113 · 发表于 2008-12-5 19:47:57

基本上镀氧化物都是要充氧气的。只要真空度在-3左右就可以~O2过多真空度低膜层会不牢固。

lukaiyan · 发表于 2008-12-7 22:08:10

这个好像有点是多余的动作

zofy · 发表于 2008-12-8 09:45:41

充氧气对膜强度影响非常大,尤其是截止或滤光片,充氧气多了,或造成整片或者半边膜脱落.

YAMAO · 发表于 2008-12-8 19:23:33

当然不会影响牢固度了，对折射率有点影响但是不大。影响最大就是膜厚，比如说你镀单点550就有可能镀在580或者600.。。。。

gxbm · 发表于 2008-12-12 15:58:53

没有影响。

苏州膜头 · 发表于 2009-4-10 14:22:10

当然不会影响牢固度了，对折射率有点影响但是不大。影响最大就是膜厚，比如说你镀单点550就有可能镀在580或者600.。。。。
YAMAO 发表于 2008-12-8 19:23

同意，牢固度受温度，真空度影响比较大。充氧主要为了满足工艺要求，提高成品率。

宇宙深处 · 发表于 2009-4-12 10:22:07

充O2是保证膜的纯良,充O2太多反而引起真空不好,会影响膜的附着力.