气体激光器 氮分子激光器

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PLASMA公司氮分子激光器







    氮分子激光器的发射带在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
    PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器，由于其独特的性能（波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W），被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亚微米量级的元件。此外，还被用于多种感光材料的高效曝光光源。

型号	NPL-0.5	NPL-3	NPL-10	LGI-505	LGI-511
波长, μm	0.337	0.337	0.337	0.337	0.337
脉冲能量, μJ	2.5	30		120	240
平均功率, mW 风冷 水冷	0.5	3	20 50	40 120	240
模式	TEMoo	TEMoo	TEMmn	TEMmn	TEMmn
脉冲重复频率: 风冷 水冷	1-200	1-100	1-200 1-1000	5-400 5-1000	1-1000
脉冲宽度, ns	5	5	5	6-8	6-8
光束直径, mm	1.5	2	5	5	5
发散角, mrad			6-12	7	12
相对功率稳定性, %				10	10
电压, V/Hz	24 V	220 V	220±10% / 50	220±10% / 50	220±10% / 50
功率消耗, kV	20	50	0.25	1.2	1.5
工作温度, OC	0…+40	0…+40	+10…+40	+10…+40	+10…+40
制冷	风冷	风冷	风冷 水冷	风冷 水冷	水冷
质保工作时间, h	500	500	500	1000	500
平均工作时间, h	5000	5000	5000	5000	5000
尺寸, mm 激光头 电源	200×130×70	590×255×155	640×220×180 375×385×195	840×343×238 484×510×212	1140×525×345
重量, kg 激光头 电源	3	10	18 18	35 35	105

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