重新开一个贴吧，6维高精度调节架

ujinlog · *发表于* 2009-1-6 17:09:02

六维调节架被广泛用于激光器耦合对准，光纤光波导对准等领域。以MG公司为例，Melles Griot公司17MAX600系列6维精密位移平台（X, Y, Z, θx, θy, θz）及17MAX300系列3维精密位移平台（X,Y,Z）集超高的调节精度及稳定性于一身。专利设计parallel-flexure技术，使17MAX系列精密位移平台拥有明显优于同类产品的可靠性。

17 MAX 300及17 MAX 600 系列精密定位平台可配合Melles Griot公司各种手动差分驱动器（17DRV002）、步进马达驱动器（17DRV001）、及压电陶瓷驱动器（17DRV120）一起使用。

17 MAX 系列精密定位平台中有几款已经装有内置，但通过增加外置的17DRV120 压电驱动器还可以进一步提高压电陶瓷驱动器的行程。下图即为17 MAX 301维精密位移平台（含内置PZT驱动器）＋17DRV120压电陶瓷驱动器＋17DRV002手动差分驱动器的组合，这样既利用了差分驱动器的较长的行程，又得到了双倍PZT行程。