新发现的问题关于膜厚仪

近期我们发现在一个特别怪的新问题给大家介绍一下，我们使用的是MAXTEK的膜厚仪。在镀SIO2时档板准备打开时就会出现FAIIURE报警（晶振片故障）但是一停止故障马上就好了（注：镀其它材料没有发现这个问题只镀SIO2会有这个问题）

是不是镀低折射率的出现这种问题？

楼主是说挡板还没有开吗？看看在出气时有没有打火，而引起的干扰问题。

不是说低折射率的有问题只有镀SIO2时会有这个问题。是档板打开的同时出现的。另外我们镀SIO2没有充气进去。停止的话他又恢复正常哦。

谢谢大家的加入，今天终于发现了是电子枪的二次电流引起的。