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求助!如何测量镜片平行度,精度要求是1"

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发表于 2009-2-13 16:11:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
求助!如何测量镜片平行度,精度要求是1"~~

我们的三座标测量精度达不到这么高的要求,
请问有什么其他办法可以进行测量的?
发表于 2009-2-13 16:23:38 | 显示全部楼层
数字干涉仪准确一些,平时加工时可根据现场干涉仪的干涉条纹来判断
 楼主| 发表于 2009-2-13 16:31:34 | 显示全部楼层
我们公司有ZYGO干涉仪,但是不知道具体方法测量出镜片2个面的平行度?
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