求助南光机脱膜

HGcoating · 发表于 2009-9-8 14:09:32

一个刚来镀膜新人无意中把镀膜机冷水关掉了，设备加温和高阀都在开起状态，差不多停水一个小时左右，后来真空室全部清洗了一次，包括高阀地方全都清洗过，但还是脱膜，唯一扩散泵没洗油没换，说明的一点真空能抽上去，也没漏气现象。哪位能指点下是什么原来。（有离子源，以前从没过脱膜现像）

HGcoating · 发表于 2009-9-8 14:11:52

基片为半导体材料无需清洗，以前也从不清洗也不脱膜

HGcoating · 发表于 2009-9-8 15:12:55

没人能回答我的话题

fql3310 · 发表于 2009-9-8 16:17:48

发生这种事,还是把扩散泵洗洗吧,真空室也要再重新清洗了.

sunyan · 发表于 2009-9-8 19:25:01

楼上说的对，根据你的描述感觉还是有油蒸汽，所以建议清洗。

zzzz · 发表于 2009-9-9 08:36:43

洗的够彻底吗???????????????????????????

gb936 · 发表于 2009-9-10 00:27:59

清洗不彻底

zhaohn868 · 发表于 2009-9-10 08:36:39

把油换一下就可以了！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！11111

HGcoating · 发表于 2009-9-10 10:33:38

真空室和高阀地方绝对清干净，如果是扩散泵油问题，难道油烧坏了，烧一个小时时间但没有氧气进入，问题会有多严重？？？油是耐高温的啊。油变质了吗？

HGcoating · 发表于 2009-9-10 10:34:25

真空室和高阀地方绝对清干净，如果是扩散泵油问题，难道油烧坏了，烧一个小时时间但没有氧气进入，问题会有多严重？？？油是耐高温的啊。油变质了吗？

zzzz · 发表于 2009-9-10 11:38:38

油如果变了的话,那抽速就变了
因此自己再好好想下

jixiaoming · 发表于 2009-9-10 15:14:18

加高温，把真空室的油蒸掉
200多度
会好不少