MEMS版图设计时间:2010-06-02 20:02来源:MEMS资讯网 作者:MEMS 点击:109次 MEMS的版图设计与加工工艺密切相关，但我国目前还少有成熟MEMS加工工艺，因此版图设计软件对各种工艺标准的兼容性显得尤为重要。 集成电路的版图设计已经较为成熟，MEMS器件的版图可以利用集成电路已有的成熟的版图设计工具，按照版图设计规则 ...

MEMS工艺设计时间:2010-06-03 13:49来源:MEMS资讯网 作者:MEMS 点击:124次 MEMS技术的发展是随硅机械加工技术的进步而不断发展的，在MEMS设计过程中就需要解决工艺设计的问题。 MEMS技术的发展是随硅机械加工技术的进步而不断发展的，在MEMS设计过程中就需要解决工艺设计的问题。 MEMS工艺技术常被称为微米－纳米 ...

MEMS技术与IC技术的主要差别时间:2010-05-06 16:29来源:www.mems.ac.cn 作者:MEMS 点击:205次 与传统的IC器件相比有重大差别。从工艺上看，尽管MEMS技术是在集成电路（IC）技术的基础上发展起来的，MEMS技术沿用了许多IC制造工艺。 经过几十年的研究与开发，MEMS器件与系统的设计及制造工艺逐步成熟，但产业化、市场化 ...

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为确保MEMS器件的运作，对其进行缺陷检测是至关重要的，但许多机械性能无法通过电气或功能测试来确定。而一种有前途的能穿透硅和大多数其他半导体材料的近红外线检测技术（NIR），可以用来检测这些缺陷。介绍了利用近红外线透过晶圆片对MEMS器件通过图形比较的方法进行无损检测、尤其是对内部结构检查的质量控制新技术。 ...

赵俊娟 中国科学院电子学研究所 硅是地壳上最丰富的半导体，性质优越而工艺技术比较成熟，绝佳的电学特性和机械特性成就了MEMS（微机电）技术的发展，开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环 ...

张晰哲[1] 唐周强[1] 韩先伟[1] 管海兵[2] 宦飞[2] [1]西安航天动力研究所[2]上海交通大学信息安全工程学院 根据微机电系统（MEMS）技术和微型阀技术的研究现状与发展趋势，在微型阀致动机理分析和性能对比的基础上，通过对微型阀结构的理论计算和数值模拟，论证了静电致动和压电致动两种微型阀方案，确定了微推进系统用微 ...

汪继芳 刘善喜 华东光电集成器件研究所 RFMEMS开关是用MEMS技术形成的新型电路元件，与传统的半导体开关器件相比具有插入损耗低、隔离度大等优点，将对现有雷达和通信中RF结构产生重大影响。文章介绍了RFMEMS开关的基本工艺流程设计，工艺制作技术的研究。实验解决了种子层技术、聚酰亚胺牺牲层技术、微电镀技术的工艺难题 ...

毛胜平 汪红 刘瑞 汤俊 李雪萍 丁桂甫 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通 ...