王永泉[1] 陈花玲[1] 彭倍[2] 朱子才[1] [1]西安交通大学机械工程学院[2]电子科技大学机电工程学院 为实现MEMS产品的快速设计和性能验证,在借鉴其结构化设计思想即节点分析法的基础上,提出了一种与常规信号流类比不同,适于集成微机电系统快速仿真的等效电路建模思路和方法。首先,对系统及MEMS器件进行功能及结构分解;然后, ...

高鹏 李晓莹 乔大勇 姚贤旺 臧博 西北工业大学陕西省微／纳米系统重点实验室 半导体同位素电池由于其寿命长、集成性优良、环境适应性强等特点成为解决MEMS能源问题的理想手段。利用4H-SiC材料的宽禁带特性，制造了4H-SiC肖特基同位素电池。对电池的耗尽层厚度以及掺杂浓度进行了优化设计，对肖特基金属进行了选择。使用4mC ...

开展了一种基于MEMS工艺的毫米波带通滤波器结构设计和工艺实现，该滤波器结构采用高阻硅作为衬底材料的薄膜支撑结构，选用平行耦合滤波器形式，使用HFSS分析软件对该结构进行了模拟仿真。设计了中心频率为35．0GHz、带内损耗为2．2dB、30dB抑制带宽为2．2GHZ的MEMS毫米波滤波器。给出了一套能降低毫米波损耗的MEMS毫米波带 ...

高动态、恶劣温度环境下,微小型飞行器（MAV）导航、制导与控制系统关键器件微机电系统（MEMS）陀螺受温度和转速耦合影响,其标度因数误差呈强非线性特点,常规方法无法精确补偿。通过分析MEMS陀螺标度因数误差的产生机理,建立了包含温度和转速非线性因素的标度因数误差模型,提出一种基于径向基（RBF）神经网络的标度因数非线 ...

针对智能化网络化传感器与蒙皮式传感器阵列交叉和发展的趋势．将柔性封装技术与智能结构相结合．针对飞行器风洞实验过程中测试数据复杂并且无法进行实际飞行实验的现状．设计一种新型的MEMS压力传感器阵列数据高速传输总线。并对其进行加工、校准，最后将其应用在实际的气动参数测试系统中。 ...

高宗余 李德胜北京工业大学机电学院 提出利用多个MEMS传感器组合定姿的方法，该方法利用加速度计的输出判断载体运动状态，采用EKF滤波算法对其状态进行估计，并在滤波算法中应用加速度计和磁强计组合计算所得的姿态信息作为对陀螺漂移的补偿，最后通过数据融合修正其姿态角。 ...

文章针对微机械（MEMS）器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析，并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路。

石静 缪玲娟 高伟熙 北京理工大学自动化学院 为了提高MEMS惯导系统的速度解算精度，提出了采用高精度的数值积分算法提取该系统的角增量和速度增量信号，并将其代人到适用于传统捷联惯导系统的典型速度算法中解算．仿真结果证实新算法比目前已有算法精度高，计算量小． ...

介绍了应用于通信领域的电容式RFMEMS谐振器及其在通信系统小型化中的优势。对电容式微机械谐振器进行了综合分析，包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析。介绍了目前几种常用结构的谐振器，包括梳状谐振器、梁式谐振器及盘式谐振器的工作过程和谐振频率的发展空间。重点分析了谐振器的电容间隙及锚这两 ...

由于MEMS器件使许多新产品成为了可能，因此MEMS领域在未来几年将迅速发展。未来5年，消费产品（如Wii、iPhone、PicoP皮投影仪等）将会带来17％的平均增长。汽车市场将会有几个百分点的适度增长，而无线通信和生物医药领域的增长将会加倍。随着该领域的健康发展，越来越多MEMS制造商的产品量会迅速增加，这将增加对生产工具 ...