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赵安 种银保 第三军医大学新桥医院设备科
微泵是微机电系统（MEMS）中重要的执行器件，在多个学科中发挥着重要作用。根据微泵的驱动方式，综述了近年国内外出现的各种机械式和非机械式微泵的原理和相应的性能，并简 ...
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李晨[1] 张鹏[1] 李松法[2]
[1]中国电子科技集团公司战略规划部,[2]中国电子科技集团公司第13研究所,石家庄050051
概要介绍了芯片级集成微系统的内涵和近期发展态势，分析了它的技术特点，对相关的新技术、新结构 ...
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贾翠萍 朱海丰中国石油大学（华东）物理科学与技术学院
对MEMS光开关的悬臂驱动结构进行了设计，考虑到采用湿法腐蚀技术制作的微反射镜与设计尺寸偏差较大，会对光开关的性能产生一定影响，提出了一种扭臂和微反射 ...
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作者：陈炳欣
早在半个世纪之前即被开发出来的微机电系统（MEMS），因为技术门坎过高，成功的商业化案例一直寥寥，直至数年前任天堂在其游戏机Wii中导入加速度传感器（g-sensor）大获成功，才正式开启了MEMS组件大 ...
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蒋海涛[1,2]
郭战营[2]
[1]西北工业大学电子信息学院,陕西西安710072
[2]焦作师范高等专科学校,河南焦作454001
根据MEMS加速度传感器的工作原理和特点，研究了一种基于MEMS三轴加速度传感器和C805IF352单片机的 ...
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李国良 贵州大学电子信息技术实验室
为了满足对大型设备水平倾角快速精确测量的要求，介绍了加拿大MCS公司生产的SANGl000高精度倾角传感器的特性、工作模式、命令格式、操作方法，并给出了与单片机构成的测量系 ...
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搜集了一些mems相关的资料，共享一下，希望能帮上忙
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据美国《军用航宇电子》网站2010年5月30日报道，当前激光武器正在进行相关试验并有望在不久的将来装备部队。军用激光的发展经历了很长的一段历史，涉及激光测距、激光雷达、激光目标指示器以及激光干扰等方面。现在 ...
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MEMS技术大牛 Ming C Wu先生《Current Trends in Optical MEMS》
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M2M表达的是多种不同类型的通信技术有机的结合在一起：机器之间通信；机器控制通信；人机交互通信；移动互联通信。
M2M让机器，设备，应用处理过程与后台信息系统共享信息，并与操作者共享信息。
它提供了设备 ...
