随着“物联网”的深入，光纤传感大放异彩，取得了长足的发展和广泛应用。光纤传感是一个统称，意指利用光纤来实现物理量（例如温度、应变、压力、电流、电压等）的感知，目前，光纤传感技术大体包括：光纤荧光式、光纤光栅式、光纤拉曼散射式、光纤布里渊散射式、光纤法布里-珀罗干涉式、光纤马赫-泽德干涉式等，它们的 ...

太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域,太赫兹器件的尺寸在数十微米到毫米量级,传统的机械加工技术很难达到加工精度要求,甚至无法加工。MEMS技术在太赫兹器件的加工方面具有巨大的优势。总结了目前采用DR IE,LIGA等工艺加工太赫兹 ...

介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片,并制作传感器样品。经样品测试,灵敏度达30 mV/Pa。 ...

微电容式传感器技术作为微机电系统研究和制造领域一个重要的分支，近年来在微型化、多功能化、智能化得到迅猛发展。目前该领域的研究虽然有了较大发展，但距实际应用仍存在有待进一步研究和解决的问题。本文在对目前较为常用的几种测量电路结构进行分析的基础上，选取交流激励电容一电压转换电路作为微电容检测方式。通过仿 ...

电子通信产业作为一门尖端的应用型科学产业，支撑着当今社会的经济发展。其发展水平标志着尖端科技的领先程度。微机电系统（MEMS）技术作为其未来的主导产业之。发挥着不可忽视的作用。从MEMS技术的主要特点、发展现状、应用前景、产业价值，分析论证MEMS技术在电子通信产业中的价值。 ...

在工程实际应用中，MEMS惯性测量单元的误差来源很多，噪声波动范围很大，温度特性和非线性严重；通过高低温实验，首先，分析系统的误差，建立系统的误差模型，在-30℃～＋60℃范围内，进行全温度补偿；然后，分析噪声，根据实际要求，设计数字低通滤波器，对补偿后的数据进行滤波；结果显示，在满足工程实时性与动态特性要 ...

MEMS低量程微加速度计的设计

MEMS／NEMS较为成熟的封装工艺一键合工艺，多数是在高温条件下进行，但是高温会对MEMS传感器产生不良影响，造成器件不稳定甚至失效。因此，急需开发适用于MEMS传感器的低温键合工艺。尤其是近几年，随着生化传感器和射频器件的快速发展，对低温键合封装的需求日益增强。 ...

据市场调研公司iSuppli最新预测．今年MEMS器件在以消费电子和移动手机为代表的新应用市场将大放异彩、2011年的销售额将达4．57亿美元，比去年的1．78亿美元，翻了一番半。而传统应用产品虽仍占有大半市场份额，但今年增长仅10．4%，比如加速器和单、双轴加速器等器件，市场虽大... ... ...

针对梳齿电容形式的微机械加速度计,对其工作原理和动态性能进行了分析。该微结构的质量块由4个折叠梁支撑,采用梳齿结构形成差分检测电容用于检测质量块的位移。通过理论推导得到了结构的质量、刚度和阻尼的计算公式。组成梳齿结构的两平行极板间的气体在极板运动时产生两种作用力：阻尼力和弹性力,运动频率较低时阻尼力为 ...