体感游戏手柄中的加速度传感器必须要校准零点和灵敏度,本文介绍了一种量产用的MEMS三轴加速度传感器校准设备,分析了该设备的硬件结构和软件处理过程。

基于VOx的非致冷红外传感器是当前MEMS的研究热点。VOx的制作是关键工艺,而VOx多价态共存,优化工艺以提高VO2在VOx中的比例、制备高性能的VOx薄膜为核心技术。采用直流磁控溅射法,对量产型PVD机台进行了技术改造,在溅射过程中用电压同时控制靶材溅射速率和氧气流量,少量的氩气充当靶材的保护气体。溅射完成后在350℃下退火约3 ...

综述了目前国内外主要MEMS继电器的原理和典型结构,包括静电型、电磁型、电热型、液态型及混合型微继电器,并对各种类型微继电器的特点进行了比较。

研究了偏振分集技术消除干涉型光纤传感器中偏振衰落问题的基本原理及实现方法。理论分析表明,偏振二分集可大大缓解偏振衰落。搭建光纤传感系统对偏振二分集技术进行了实验验证,实验中单路最小可视度接近0,而偏振二分集得到的最小可视度为0.4。实验结果表明系统采用的相位载波调制解调技术实现了信号的稳定检测。 ...

光电探测器件是光电信息转换系统中连接光学和电子系统的接口器件。分析了光子晶体光纤压力传感器的基本传感原理,设计了光子晶体光纤压力传感器系统和解码系统,根据光子晶体光纤压力传感器输出电信号特征可选择InGaAs/InP-APD为光电探测器。 ...

作者: 蔡培德 汽车智慧为我们开启了一个可随时随地实现连接的新时代。 微机电系统(MEMS)一开始是以一种取代压力感测器的形式出现在1980年代的工业与极端环境应用中，由摩托罗拉(Motorola)采用矽晶蚀刻制造而成。 到了1990年代，以MEMS元件开发汽车安全气囊感测器所用的加速度计，成为市场上的主流应用。从那时起，在消费 ...

据IHS iSuppli公司的微机电系统(MEMS)与传感器报告，在苹果iPhone和iPad采用加速计的带动下，未来五年智能手机与平板电脑运动传感器市场将增长近一倍。 2015年该市场将从2011年的11亿美元增长到21亿美元，如图所示。运动传感器包括MEMS加速计、MEMS陀螺仪、电子罗盘(又名3轴磁力计)和MEMS压力传感器。 iPhone最先让消费 ...

http://www.china-vision.net/technology/hard/200611/3199.html 这是5年前的文章，不知道现在情况如何，很想了解现在国内市场上能够买到的面积最大，像元尺寸最小的CCD是什么型号的？ 该贴已经同步到 digger2011的微博

给大家学习！