IR CUT 镀膜 求教

IR 镀膜 ，药品 一般 速率要求 多少，目前 没有 使用 离子源 ，使用晶控  分光 外观
控制 都不好 .出现 红点 亮点 （使用 点光源检查 出现（150W) 使用 环形光源 （150w）看不见
，请教 除去 方法  先  感谢 .电子枪  是否 有 影响   ，目前使用 180° 偏转的 .与 270° 的电子枪有差异么 。。机器 韩一 使用 离子源 后 满面 白点， 故没有使用ION/B

理论上270的优于180,具体看使用
你的设置速率是多少了?

ti3o5  2.5a/s  
sio2   12a/s

ti3o5 有点慢 sio2 有点快

没用 离子源，TI3O5  以前 用3.0  ，后改 2.5 的 ，主要 对外观 方面 不能 有 好的对策
用 SCHOTT基板 入 库 直接 洗净，镀膜后 20X 检查 出现 0.02~0.01的 点 ，不良  ；
SCHOTT 基板 出库基准 为 <0.1mm 的点 无视   ，，郁闷  》》》》

速率不快啊，查查磨料吧，，，，，，

离子源  光驰 好 还是 莱宝的好啊

入库是<0.1的点,镀后发现0.01-0.02的点应该是很正常的事,谁知道基板上原来有没点

入库是
zzzz 发表于 2009-5-19 08:49

          他好像是放大了吧！20X

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TA2O5代替TIO2,SIO2环料最好,如果是那就没事了.
电子枪吸附灰尘(应该是很多灰尘的.)请每炉都清洁,具体是用氮气吹后用酒精泡,放于超声波里头超2-5分钟.
180度与270度电子枪当然有差别,270度的电子枪较好.180度的电子枪灯丝暴露在外头.起码易变脏.

哦,忘了说了,有加离子源的镀后满面白点的把离子源拿去吹下下不就可以了?清洗一下就OK的.