求教 IR FILTER 镀膜机 清扫方法

每次 设备 内部 内壁 喷砂 大清扫后 ，，产品 外观品质 不好 ，，求教清扫方法 谢谢

那就说明你清扫的不够彻底了

内部护板 需要怎样 清洗啊

用喷砂机或打磨或腐蚀
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用的是 韩一 1300 设备 ，，内部用砂纸 清扫 磨， 内部用 普通 抹布 擦拭 ，内板用 喷砂后 水 清洗 ，，老清扫不好 ，，大清扫后品质 下降 ，，求教有没有好的 ，，擦拭布 或方法 ，

不是都保密吧 ？ 1111

这个没什么保密的
只是要做的细致而已了

只是你应该更注重电子枪和离子源这块。在清洁的时候应该把这两个配件拿起来用氮气吹一下。
低能量的离子源用氮气吹的话不大会影响光洁度，高能量的离子源对光洁度会有影响，清洁时要注意它的细节问题。
电子枪可以用氮气吹，然后用酒精放超声波震个十来分钟也可以。
真空室清洁差不多之后再用氮气吹一下，然后再做最后一遍的清洁。接下来就是包铝箔和装工件及电子枪离子源了。

能量高的离子源清洁最好做到简便。

坩埚的清洁也很重要的!

清機後是否清潔要驗收.
1. 測量落塵量?
    A: 每天要量.
2. 無塵室等級?
    A: 1000級
3. 是否有清機 SOP?
    A: 要有.

外观品质不好？不知是灰尘还是发雾。清洗以后不要急着装工件，加轰击，加烘烤空抽半小时你再试试。