真空室内出现不明很色物质

最近又遇到了问题，大家帮忙分析分析，谢谢了。
我们的真空室里面出现黑色不明物质，最明显的地方是加热丝及加热丝附近。我们有两台南光800，最早是A号机出现的，A号机的轴承动过，我们向里面加了润滑物质，然后怀疑是该润滑物质加热后散发出来的，于是我们就又拆下来把轴承清洗了，效果还是有点点，但过几天就不行了，黑色物质又出现了，我们就只有怀疑是没有洗干净。但是现在B号机也出现了这种物质，那我们也许就错了，两台机器出现的最严重的地方就是加热丝，晶控等真空室上面的地方，下面开始会很少，随着时间的增加也会出现。不知大家有没有遇到过这种现象，该物质会严重影响晶控的检测和镜片的质量，有些镜片上也有这种物质，镀膜后擦也擦不掉了。不知道加热丝老化会不会产生什么物质，大家给点意见呢

呵呵，南光机正常，你用的润滑剂是什么子，7501，我想应该是这之内的。你查查润滑剂的成分就什么都明白那。没多大问题，只要你的轴承没事就好！！