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[刷分] 溅射工艺

发表于 2011-11-2 13:32:02 | 显示全部楼层 |阅读模式

溅射工艺是以一定能量的粒子（离子或中性原子、分子）轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺。溅射只能在一定的真空状态下进行。...

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