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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 镀膜基片有麻点，怎么解决

[技术] 镀膜基片有麻点，怎么解决

 火...
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发表于 2010-12-21 20:46:50|湖北 | 查看全部 阅读模式
有麻点  什么原因   怎么解决   
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回复|共 18 个

mangovc Lv.8 发表于 2010-12-22 09:55:38|福建 | 查看全部
你这样问实在太笼统了，点子种类大致有以下几种：基片抛光留下的电子，镀膜时膜料的喷溅点，离子源打火的点子，真空室漂浮的灰尘点，自己想办法去排查吧。
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JZNT Lv.8 发表于 2010-12-22 16:45:52|浙江 | 查看全部
你是基片上面有点子还是镀膜后上面有点子呀？
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xiaojiang007 楼主Lv.8 发表于 2010-12-23 19:44:58|湖北 | 查看全部
镀膜后发现的点子  还蛮多的  是不是镀膜速度快了  ?
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yangdaoqi Lv.2 发表于 2010-12-28 16:35:44|吉林 | 查看全部
你应该说的具体一点，用什么膜料镀什么膜？什么机器？是MS还是EB
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yangdaoqi Lv.2 发表于 2010-12-28 16:35:48|吉林 | 查看全部
你应该说的具体一点，用什么膜料镀什么膜？什么机器？是MS还是EB
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JZNT Lv.8 发表于 2010-12-29 11:18:04|浙江 | 查看全部
要看是什么材料，是溅射还是蒸发。
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jasmine131415 Lv.7 发表于 2010-12-29 12:18:10|浙江 | 查看全部
镀膜基片有问题了 是不是镀膜晶振片出问题了？
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薛杰 Lv.2 发表于 2011-1-7 21:30:22|上海 | 查看全部
哪去抛光吧
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xiaojiang007 楼主Lv.8 发表于 2011-1-12 12:47:10|湖北 | 查看全部
是采用蒸发  药材是氟化钇   怎么控制让基片不产生麻点
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wlinliu Lv.10 发表于 2011-1-30 04:28:21|广东 | 查看全部
1.你需要保证基片干净无尘
2.将放气伐的放气速度减小
3.查看ION功率是否太大,在不影响工艺条件的情况下,减小ION功率
4.作业区域洁净度要有保证
5.镀膜室的洁净度是否达标,挡板或其他污染源是否需要更换
6.若是突然变化,镀膜数率是否有异常
7.请及时清洁离子源(ION)各部件
以上问题解决的话,我估计基本可以解决麻点问题,特别请注意第2和第7条.
谢谢关注!
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xiaojiang007 楼主Lv.8 发表于 2011-2-11 22:08:31|湖北 | 查看全部
谢谢   
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