MEMS毫米波滤波器的设计与制作

开展了一种基于MEMS工艺的毫米波带通滤波器结构设计和工艺实现，该滤波器结构采用高阻硅作为衬底材料的薄膜支撑结构，选用平行耦合滤波器形式，使用HFSS分析软件对该结构进行了模拟仿真。设计了中心频率为35．0GHz、带内损耗为2．2dB、30dB抑制带宽为2．2GHZ的MEMS毫米波滤波器。给出了一套能降低毫米波损耗的MEMS毫米波带通滤波器工艺流程方案，并针对该工艺流程方案进行了关键参数的工艺误差仿真，实现了MEMS毫米波滤波器的工艺制作和测试。测试结果表明，获得的毫米波滤波器的测试结果与仿真结果比较接近。

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2010-6-6 00:08 上传

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