MEMS变形反射镜主要特性测试

屋檐上的狗 · 发表于 2010-6-21 16:37:53

介绍了基于微机电系统技术的微变形反射镜的基本结构和电极分布，分析了微机电系统变形镜的变形原理，推导了微变形镜的镜面变形与外加驱动电压的关系．分析了基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统的组成及测试原理，并利用该系统实现了对微变形镜静态电压－位移曲线、静态面形、动态离面变形以及谐振频率的测试．实验表明：测试结果与理论分析有很好的一致性。

MEMS变形反射镜主要特性测试.pdf (366.5 KB, 下载次数: 7)

sd_wangdan · 发表于 2010-6-29 16:54:26

很不错的一篇，楼主也做变形镜啊

pisces1978 · 发表于 2010-7-28 10:36:43

好东西，顶了，谢谢分享

MEMS变形反射镜主要特性测试

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