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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 半导体微电子传感器技术 › MEMS变形反射镜主要特性测试

MEMS变形反射镜主要特性测试

 火..
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发表于 2010-6-21 16:37:53|湖北 | 查看全部 阅读模式
介绍了基于微机电系统技术的微变形反射镜的基本结构和电极分布，分析了微机电系统变形镜的变形原理，推导了微变形镜的镜面变形与外加驱动电压的关系． 分析了基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统的组成及测试原理， 并利用该系统实现了对微变形镜静态电压－位移曲线、静态面形、动态离面变形以及谐振频率的测试．实验表明： 测试结果与理论分析有很好的一致性。

MEMS变形反射镜主要特性测试.pdf (366.5 KB, 下载次数: 8)
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sd_wangdan Lv.4 发表于 2010-6-29 16:54:26|江苏 | 查看全部
很不错的一篇，楼主也做变形镜啊
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pisces1978 Lv.2 发表于 2010-7-28 10:36:43|上海 | 查看全部
好东西，顶了，谢谢分享
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