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抽速慢什么原因
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抽速慢什么原因
火...
11.4k
25
xiaojiang007
Lv.8
发表于
2011-3-9 21:24:28
|
湖北
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最近发现低真空指示灯不亮 在则到精抽的时候抽速慢 怎么回事 那个灯不亮 有什么影响
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苏州膜头
Lv.9
发表于
2011-3-10 07:53:19
|
江苏
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可能是哪个灯本身坏了,换一个。
如果真的不亮了,你是开不了高阀的,不能精抽的。
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xiaojiang007
楼主
Lv.8
发表于
2011-3-10 15:43:25
|
湖北
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精抽的时候抽速慢 是不是要换油了 一年不到
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wangxudong1227
Lv.7
发表于
2011-3-11 13:08:46
|
浙江
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1、你可以检查下有么有漏气,微漏的那种。连接是否OK,腔门边缘密封条是否干净。密封条是最容易出漏气问题的地方,前提是其他都没有动过。
2、检查 POLYCOLD是否正常。
其他的还没遇到过。
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swanson
Lv.6
发表于
2011-3-11 14:36:56
|
广西
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会不会是基底放气太大。。。烤一下基片呢
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JZNT
Lv.8
发表于
2011-3-11 17:01:25
|
浙江
|
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有微漏的可能性比较大,包括漏气还有水
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xiaojiang007
楼主
Lv.8
发表于
2011-3-11 21:24:42
|
湖北
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其他的都没动过 机器在抽高真空的我听到好像有嘶嘶的声音 是不是漏气啊 !望解答啊
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wlinliu
Lv.10
发表于
2011-3-12 09:33:06
|
广东
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高真空的时候真空度是否有反弹变化,如果反弹很大,就有漏了,用残余气体分析仪分析一下就知道了
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JINFENG215107
Lv.8
发表于
2011-3-12 22:34:13
|
江苏
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会不会是机械泵或者真空泵的问题。
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缘睐汝痴
Lv.9
发表于
2011-3-13 23:34:21
|
江苏
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这些都有可能存在问题,学习了
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xcy1075
Lv.8
发表于
2011-3-16 10:28:30
|
福建
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snscm
Lv.5
发表于
2011-3-16 13:45:34
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北京
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xiaojiang007
的帖子
应该是低真空指示灯泡坏了,换一个。
那个嘶嘶的声音是哪个部位发出来的?顺便给设备检下漏
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