|
|
发表于 2003-7-30 18:42:00
|
显示全部楼层
膜厚控制
下面引用由Portia在 2003/07/29 09:44am 发表的内容:
别客气,我也了解不多。
李伟华的想法不错!
但我对晶控片的市场也不了解,ic5等使用镀膜机的大侠应该了解得更多一些。
只是国内晶控片的“声誉”不太好,对膜质量要求较高的用户可能都不会考虑国产的。我见过几 ...
聊一聊我知道的~~晶控片
以 Inficon 使用的晶控片為例,要求的是振動頻率,就對應到一個特定的厚度
薄了 ,厚了,都不行,
當然其它,像是粗糙度,水平度,等都要控制的很好
要達到這樣的工藝水平並不容易
再來是鍍金,當作電极,這可能都較容易克服。
以國外的晶控片,價格都差不多,在國內製作的話
可能要評估製程中那個程序可以省下經費,
否則很可能作出較國外還貴的晶控片
我很久沒摸鍍膜機了,資料可能有些過時,請見諒 |
|