楼主: 李伟华

膜厚控制

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 楼主| 发表于 2003-7-30 00:01:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

谢谢你,portia.
 楼主| 发表于 2003-7-30 00:43:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

ic5: 是有镀合金的,是金和铬。

晶片pattern(模式)是什么意思呢(看图)
发表于 2003-7-30 16:22:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

上图表示的是镀层的样式:1图——全镀式   2图——单锚式   3图——双锚式
发表于 2003-7-30 18:42:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

下面引用由Portia2003/07/29 09:44am 发表的内容:
别客气,我也了解不多。
李伟华的想法不错!
但我对晶控片的市场也不了解,ic5等使用镀膜机的大侠应该了解得更多一些。
只是国内晶控片的“声誉”不太好,对膜质量要求较高的用户可能都不会考虑国产的。我见过几 ...

聊一聊我知道的~~晶控片

以 Inficon 使用的晶控片為例,要求的是振動頻率,就對應到一個特定的厚度
薄了 ,厚了,都不行,
當然其它,像是粗糙度,水平度,等都要控制的很好
要達到這樣的工藝水平並不容易

再來是鍍金,當作電极,這可能都較容易克服。

以國外的晶控片,價格都差不多,在國內製作的話
可能要評估製程中那個程序可以省下經費,
否則很可能作出較國外還貴的晶控片

我很久沒摸鍍膜機了,資料可能有些過時,請見諒
 楼主| 发表于 2003-7-30 19:53:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

3Q ic5的解答。
这三者有什么不同吗?
 楼主| 发表于 2003-7-30 19:54:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

下面引用由李伟华2003/07/30 11:53am 发表的内容:
3Q ic5的解答。
这三者有什么不同吗?
 楼主| 发表于 2003-7-30 20:01:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

谢谢 COUTOU!
我的看法:
晶控片是石英晶片加工而成的,石英晶片的厚度与其频率存在线性关系。
我看了INFICON晶控片的说明,它在加工中使用了PLANO-CONVEX技术,也就是说晶片一面是平面,一面是凸面。凸度R150-300。这有一定的加工难度。
请教大家有无高效率的加工方法。
发表于 2003-7-30 23:09:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

全镀、单锚、双锚有什么不同?请大侠赐教,是不是仅仅因为触点的不同吗?
发表于 2003-7-31 17:56:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

虽然我不是很懂,但也来灌灌!希望得到解答
发表于 2003-8-3 08:36:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

下面引用由李伟华2003/07/29 04:43pm 发表的内容:
ic5: 是有镀合金的,是金和铬。
晶片pattern(模式)是什么意思呢(看图)

蒸镀模式:全连接、单连接,双连接
发表于 2003-8-3 18:58:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

那只虾:这三者有什么不同吗?使用种有什么不同的要求吗?
发表于 2003-8-4 05:58:00 | 显示全部楼层

膜厚控制

国内好象有一家做晶片的,质量还行吧?我们曾经用过
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