Roth&Rau公司简介

        Roth&Rau（以下简称RR）公司成立于1990年，为德国上市公司，规模超过1000人，年产值近3亿欧元。 RR MiroSystem分公司是RR总公司的技术基础，有近80人，专注于等离子体和离子束技术，每年的研发投入超过100万欧元。其产品包括离子源，等离子体源，RIE, PECVD, 离子束溅射镀膜机（IBS），磁控溅射镀膜机（MS），离子束铣(IM), 离子束抛光机（IBF）等。其产品可应用于高反射膜、低损耗薄膜、DLC薄膜、光栅刻蚀以及非球面加工等方面。

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