如何防止油扩散泵返油，提高抽速，提高镀膜质量

超低温捕集泵
应用原理：
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。超低温捕集泵则是解决问题的上佳选择。
超低温捕集泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60—90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8Torr、10ˉ5Pa）

在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：
1、水汽捕集器
    它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。
2、超低温冷阱
    放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。

根据需要,二者可以分别安装或者同时安装：主要性能特点：
•        快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60—90%；
•        降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，最低可到-145℃；
•        3分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;
•        一台设备可设计两路负载输出；        
•        进口压缩机，环保混合型制冷剂;
•        具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示；
•        当待机温度到达后有指示灯提示，可以开始制冷；
•        压缩机排气过高、压力过高保护；
主要零部件产地：
1.压  缩  机： 美优乐（进口）
2.压力继电器： 丹 麦 DANFOSS
3.干燥过滤器： 丹 麦 DANFOSS
4.压力控制器： 丹 麦 DANFOSS
5.电  磁  阀： 丹 麦 DANFOSS
6.温度继电器： 德 国 LR
7.中间继电器： 日 本 OMRON
8.温度 控 制： 日 本 理化RKC
冷凝盘管的制作：
根据设备的实际情况，我们可以为您制作不同形状的冷凝盘管。输入、输出的接口：
    冷凝盘管从真空腔内穿过腔壁时，由于管道温度与腔壁温差较大，如果直接焊接，冷量将会有较大损失，腔壁结霜严重。这就需要一个长约20厘米的薄壁不锈钢管做成的绝热装置来解决，它可以做成活口（见图），也可以不用密封垫，直接焊接到真空腔壁。TH系列低温捕集泵主要性能指标
型  号        TH-135-5P        TH-135-7P        TH-135-10P        TH-135-12P        TH-135-15P
工作温度（℃）        -120℃至-145℃
压缩机功率(KW)        4.6        6.3        8.5        10.1        12.3
抽气速度 （l/s）        51000        73000        101000        153000        250000
制冷量（W）        500        1200        1800        2500        3500
冷凝管表面积(m2)        0.3        0.5        0.7        1.0        2.0
冷凝管长度        10m,φ10mm        12m,φ12mm        14m,φ16mm        20m,φ16mm        40m,φ16mm
外形尺寸mm
(宽x深x高)        750x800x1500        900x900x1750        950x980x1750        950x980x1750        900x1080x1780
电  压        380V 50HZ
预冷时间（min）        ≤30        ≤30        ≤30        ≤40        ≤40
降温时间（min）        ≤5        ≤5        ≤5        ≤6        ≤7
除霜时间(min)        ≤3        ≤3        ≤3        ≤3        ≤3
再降温时间(min)        ≤5        ≤5        ≤5        ≤6        ≤6
泵口内径（mm）        ≤500        ≤800        ≤1000        双路输出        双路输出
适用腔体直径(mm)        ≤900        ≤1300        ≤1500        ≤1700        ≤2000
冷却方式        风冷、水冷(t≤30℃)        水冷(t≤30℃)
重 量（Kg）        280        350        450        470        500

销售经理   杨文海
电    话   18600054733         13671058727     
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