波前畸变？

请问波前畸变是什么概念？

它和平面度有和区别？

反射波前畸变和透过波前畸变各指什么？

谢谢！

好

我个人认为透过波前畸变是晶片两个面平面度的一个综合，加上材料本身的均匀性不好等的一个综合性指标。而平面度指标只是一个纯粹的一个加工表面的指标。（纯属个人观点）

至于反射波前畸变也不清楚还请哪位高手解释一下。

我同意楼上的看法

透过波前畸变是一个综合指标

我理解的 透过波前畸变产生的原因就是一束光波经过零件时 光程n*d不相等 ，n时材料折射率d是光在零件中走过的路程。当n一定时，即使单个面的面形很差，但如果能做到两个面面形互补（即处处d相同），那么透过波前畸变同样会很好

反射波前畸变指零件的表面面形有缺陷，引起的一束光波经反射后波前变形。

同意楼上的观点，但是有时候晶体内部有轻微的均匀性问题时候要采取哪一种修正方法来控制使透过波前畸变达到最好的时候比较难。

以下是引用jiangyongs在2004-6-30 17:05:41的发言：

我理解的 透过波前畸变产生的原因就是一束光波经过零件时 光程n*d不相等 ，n时材料折射率d是光在零件中走过的路程。当n一定时，即使单个面的面形很差，但如果能做到两个面面形互补（即处处d相同），那么透过波前畸变同样会很好

反射波前畸变指零件的表面面形有缺陷，引起的一束光波经反射后波前变形。

按你的意思，就是两个面的平行度要好。

你所说的反射波前畸变好像跟平面度差不多，指表面面型。

本人认为都与平面度有关，透过波前畸变是一个综合指标，反映加工的水平。

反射波前畸变可能指的就是平面度，所以很少听说。

平面度可能是表征一个单面的。波前表征两个面。两个结合起来就可以显示这个基片的总体质量吧？

波前畸变由入射表面，出射表面，和介质均匀性综合决定，如果光学材料内部条纹和包络（尤其是晶体内部有断层，位错等情形）比较严重时，面型再好，波前畸变也不能做的很好，想通过面型来修正波前畸变的话，除非那个抛光的兄弟是高手中的高手，想在什么地方低一点高一点都可以做到，然后一边抛光一边检测，这样可以做到，不过如果这样做了，面型肯定就费常糟糕了

应该说是光经过光学元器件时光程不等造成的信号畸变，直观的表现就是由面形和平行度以及材料均匀性决定的！有些时候面形不好但平行度好（也就是我在使用范围内等厚），波前畸变也可以很好的。

hao