行星盘与晶振探头位置的影响

ferry · 发表于 2011-9-29 17:03:24

本帖最后由 ferry 于 2011-9-29 17:08 编辑

如题，把现有的伞状工件架换成了行星结构，结果出现了比较大的周期性干扰（晶控），如图

试着把小行星盘卸掉后，干扰则不再存在，如图

后来分析，是不是因为当放置小行星盘后，随着转动，对探头而言，会出现烘烤灯的辐射热量出现周期性变化，从而对探头形成干扰。
基于这一点，如果把探头位置向下放置，使其低于小行星盘位置，如图

是不是就可以解决此问题。
不知道，各位使用的机器中，探头位置与行星盘位置是如何放置的，是否出现过上述现象。

ferry · 发表于 2011-9-29 17:09:41

图片没处理太好，烦请各位下载了来看，帮着分析分析，谢谢了

苏州膜头 · 发表于 2011-9-29 19:00:38

就是这样的，你真聪明。

shuangzixing · 发表于 2011-9-29 20:03:42

探头和行星架上的挂盘在同一水平线上。也就是说探头要和镀膜的基片在一条线上，这样才可以收集到同样的数据

LILISRLHJ · 发表于 2011-9-29 21:50:09

想请教下出现的是什么现象的干扰啊？

wangxudong1227 · 发表于 2011-9-30 00:02:36

按理说，晶振在任何部位，只要位置固定，没有遮挡（甚至有稳定遮挡）厚度都应该可以通过Tooling Factor调整过来啊····
同问，请详细描述稳定干扰的表现

ferry · 发表于 2011-9-30 09:12:34

探头在成膜时，是不受任何遮挡的，问题在于烘烤灯对探头的辐射热量，却因转动而呈现周期性变化（工件盘会转动时，在某时刻会产生遮挡），
具体的干扰就是，当工件转动+烘烤，还未镀膜时，晶控就开始出现沉积速率（用的360），正负数值都有，如果是镀膜，在预熔阶段，原本平滑的直线，开始出现周期性小包，开始镀膜后，沉积速率变化相当之大，如果材料本身沉积速率较小，那么表现出来的速率则是一塌糊涂，惨不忍睹。
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ferry · 发表于 2011-9-30 09:23:51

LILISRLHJ 发表于 2011-9-29 21:50
想请教下出现的是什么现象的干扰啊？

是一种周期性的扰动，表现出来的现象就是镀膜的速率曲线不是直线，而变成类似正弦、余弦函数曲线的形状。

ferry · 发表于 2011-9-30 09:25:15

wangxudong1227 发表于 2011-9-30 00:02
按理说，晶振在任何部位，只要位置固定，没有遮挡（甚至有稳定遮挡）厚度都应该可以通过Tooling Factor调整 ...

是一种周期性的扰动，表现出来的现象就是镀膜的速率曲线不是直线，而变成类似正弦、余弦函数曲线的形状。

并且，工件盘在转到一定角度时的确会遮挡住晶振探头。

john03062003 · 发表于 2011-9-30 10:41:20

需要把探头下调，避免由于行星盘的转动产生遮挡探头的现象，目前探头出于腔体顶部，可以尝试从侧面安装，或者底部安装，调整一下tooling值就好了！

LILISRLHJ · 发表于 2011-9-30 21:19:56

想请教楼主您做什么产品需要换工件支架啊？还有就是之前的烘烤是上烘烤，还是下烘烤啊？

ghtzna · 发表于 2011-10-2 08:04:03

行星的基本上度规格严的东西哈哈会不会是带通滤光片

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