360晶控问题——显示曲线乱跳

大家好，请教你们一个360的问题，我们的360也是最近才出现的情况，现在还没有解决，我们现在只是用它镀单层膜了，不敢镀多层了。我们的问题是：某天看到360的监控速率曲线忽上忽下，完全不稳定，速率会从设定的比如5跳到12, 2 ，甚至有时跳到30，有时又跳到0，随之功率也一直在变动，高压变化很小，从-6.79变到-6.81,6.82这样。
期间我试着逐个排除，换过晶控片，振荡器，我试着把360的震荡器和装晶控片的整个夹具都分别换到我正常的310的晶控仪上，其结果都是很正常的，说明没有问题。现在在想会不会是晶控探头坏了，可是没有备件等其他原因没有机会尝试，各位给分析分析呢。还有一个现象是，我观察310和360的晶控，正常的310在没有抽空的时候和抽真空的时候变化都很小，抽真空会变到-0.02A左右的，膜厚会是78A（大约抽空半小时），而同样的对比360的变化更大，分别是速率是-0.2左右，厚度是-230A左右

清洁探头，铜片是不是有氧化了？用砂纸打磨一下，然后擦拭干净！

john03062003 发表于 2011-11-11 11:08
清洁探头，铜片是不是有氧化了？用砂纸打磨一下，然后擦拭干净！

探头我们也洗过了，我还洗了两次，问题还是没有得到改善啊

我记得有个帖子说360自从被收购后问题很大的。但记不清在哪里了，你可以找找看，应该在前两三页吧。

有水冷吗？
晶振活性值跳动大吗？

z1206l 发表于 2011-11-11 17:14
有水冷吗？
晶振活性值跳动大吗？

有水冷，而且很正常，反复检查过的。360的活性晶振活性值从哪儿看呢，IC/5倒是很容易看出来，就是所谓的ACT哇，360的不知道在哪儿看呢，请教一下啦

晶振弹片有很大关系  我之前也是这种现象 后来换了晶振弹片就OK

ghtzna 发表于 2011-11-12 10:31
晶振弹片有很大关系  我之前也是这种现象 后来换了晶振弹片就OK

我试过了，我们另一台机器的晶控是好的，我把好的机器的晶振弹片换到坏晶控上结果还是没有效果的，然而原本假设坏的晶控弹片用到好的机器上，结果仍然是好的，应该不是晶振弹片的问题了

pid设置问题

huang12949 发表于 2011-11-13 13:13
pid设置问题

PID应该不会有问题吧，我们什么都没有动过，以前还好好的。310的PID我倒是能够很方便的找到，360的PID我都不知道在哪个界面，请你指教一下，谢谢了

查一下Sensor线。
不放晶振片，此时压晶振片的弹片应与底面短路(是不是短路，看看夹具就知道了)。
取下振荡包，用万用表欧姆档，量取内部导线的短路电阻，小于 3个欧姆为正常。
//以前的帖子里说过的。试试看吧.

有可能是电子枪问题，电子枪高压，前不久我们的机台也出现过，现像和你说我一样