平移运动台(X-Y-Z轴)
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构成主件
| Newport 562 ULTRAlignTM Precision Multi-Axis Positioning System |
最大行程(mm)
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分辨率(μm)
| SM-13 (0.5); DM-13 (0.05) |
负载(N)
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材质
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旋转(PitchθX-YawθY-RollθZ轴)
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构成主件
| NP-YP1 (Pitch-Yaw); NP-R1 (Roll) |
最大行程(mm)
| θX:6mm, θY:6mm, θZ:12mm (±3°) |
分辨率(μm)
| NP-YP1 (0.01°), NP-R1 (0.0004°) |
材质
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夹具
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(专利申请中)通用光纤阵列(FA)夹具 × 2
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(专利申请中)通用1×N Splitter夹具(1×2到1×64适用)× 1
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机械视觉
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摄像头
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运动平台
| 100mm(可根据需要修改) 6或13mm手动XY平台(微调) |