楼主: Jimmy_tang

[讨论] 监控波长与镀膜曲线,懂光控的请进来看看。

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发表于 2012-5-15 22:01:26 | 显示全部楼层
1. 光控入射角度(出入射夹角的一半)一般在3~5度以内,影响不大。14度就太大了,应该在确定监控波长时予以考虑。垂直与倾斜厚度就是个 cosine 关系。
2. 计算机控制可以做到极值判断,而不再需要过极值。//现在的新书也照搬几十年前的东西,呵呵。
3. 固定偏差与随机偏差可以这么区分的。
    需要注意的是,光源角度带来的偏差是随膜系而变的,而且也不容易准确模拟出来。还是角度小点的省事。
    至于监控片倾斜之类的,需要在结构及加工上下工夫。
4. 光控里有不少不易把握的地方,需要逐个解决。
5. 先找出影响最大的因素,重点予以解决(不一定是光控哦)。然后再细化其他方面,以免什么都抓不住。

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谢谢,受教了。  发表于 2012-5-16 11:13
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发表于 2012-5-16 08:10:29 | 显示全部楼层
楼上的判断部分是对的,再深入研究就好了,比如第2点,要结合实际情况,就算蒸发速率是恒定的,极值附件的变化梯度还是很小,坩埚挡板的动作有个延时,判断依据还有个变化量指定值,小于多少属于误差、大于多少属于真变化问题,特别对于折射率易变材料,极值判断都是风险很大的,这还不包括光控精度、稳定性。。。
其他不多谈,总之光控里面有很多文章,国产光控落后进口一大段,也是因为深入研究不够,被似是而非的东西蒙住了

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是的,或者可以说是被吓住了。  发表于 2012-5-16 11:14
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发表于 2012-5-16 22:48:54 | 显示全部楼层
1. 多年前就有人做到了,判断算法并不落后,这不是随便说的,呵呵。极值判断对于滤光片还是很有用武之地的。
2. 挡板的延迟,原理上说是因素之一,但对气动结构挡板来说,对成膜结果影响可能不是主要的。通过软件模拟是可以得出这个结论的。
3. 国产光控在细节上是有许多需要改进的地方,但影响国产机器成膜结果的主要因素可能也还不在此。换句话说,国产机器配进口光控的话,不见得会好多少。
4. 还是要先找到主要矛盾。
5. 国产机器要从整体细节上下工夫,否则迟早会被市场抛弃。狼已经来了...
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发表于 2012-5-17 00:15:56 | 显示全部楼层
学习学习,现在的技术是一日千里,不学习就落伍了
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发表于 2012-5-17 00:29:02 | 显示全部楼层
但是感觉上还是过头比较塌实,
在做减反时,常常有意把监控波长选小一点,避免采用极值来提高精度真的  过时了吗?

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极值法暂不会过时,这是光学薄膜原理所决定的。 当前最新的光控技术(在线直接监控)还是在用极值法判断。  发表于 2012-5-19 08:53
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 楼主| 发表于 2012-5-17 08:39:00 | 显示全部楼层
一般都是过头的,否则无法判断是否真的是在极值。

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1. 找到抖动的原因。可见部分,一般最优处 0.1%的噪音是能达到的。 2. 尽量选用 信噪比大 的监控波长。  发表于 2012-5-19 08:38
otxtc兄说的没错,奈何我的镀膜机已经有些年头,连计算机都没有的,人工判断又因为数值抖动的缘故,不过头是无法分辨的。  发表于 2012-5-18 09:11
我看到的一般不用过头的。人工的、计算机的也好。前者靠经验,后者靠算法。 光控稍稳定的话 (0.5%),计算机极值判断的准确性在 1 秒之内,呵呵。当然,这中间有讲究的,不便展开。  发表于 2012-5-17 08:47
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发表于 2012-5-19 01:19:49 | 显示全部楼层
还是请otxtc不要怕辛苦,多讲讲!

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不是我不说,是不便多说。要靠这玩意吃饭,见谅。  发表于 2012-5-19 08:42
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发表于 2012-5-19 20:07:52 | 显示全部楼层
otxtc是做设备的吗?

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个人信息不便公开,见谅见谅。//私下聊无妨。  发表于 2012-5-19 22:03
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发表于 2016-7-21 16:37:26 | 显示全部楼层
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发表于 2016-8-2 08:59:12 | 显示全部楼层
光控自动判断,速率必须相对稳定。
上海膜林科技有限公司,专业晶控仪研制商。为您的光控系统提供保障。


2016.09.06-09,深圳会展中心,7F43
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发表于 2016-8-3 22:10:45 | 显示全部楼层
个人表示点意见,光学镀膜到现在 很多技术都很成熟,建议多花点时间在机器上,了解机器的特性,注重每个细节,长短都无所谓,,先保证你机器的重复性,一次实验一个参数,最后你自己都蒙了

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说的非常对。重复性是关键。真空度、温度、沉积速度、厚度 稳定和重复 都至关重要。 晶控承担了 沉积速率、厚度 两项重任。 上海膜林科技有限公司晶控仪,经几年来的市场检验,完全可以胜任当前任务,并不比  详情 回复 发表于 2016-8-4 15:08
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发表于 2016-8-4 15:08:25 | 显示全部楼层
sery1234 发表于 2016-8-3 22:10
个人表示点意见,光学镀膜到现在 很多技术都很成熟,建议多花点时间在机器上,了解机器的特性,注重每个细 ...

说的非常对。重复性是关键。真空度、温度、沉积速度、厚度 稳定和重复 都至关重要。
晶控承担了 沉积速率、厚度 两项重任。


上海膜林科技有限公司晶控仪,经几年来的市场检验,完全可以胜任当前任务,并不比任何进口仪器差。


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