氧化铝抛硅（Si）单晶，表面起橘皮的真正原因

oecr-xjh · *发表于* 2013-8-11 22:05:43

氧化铝抛硅（Si）单晶，表面起橘皮的真正原因：
机械作用>化学作用？
化学作用>机械作用？

在氧化铝抛光液中添加浓度为10%的硅抛光液，橘皮表面改善很明显。

qbf · *发表于* 2013-8-13 00:32:57

没看懂，硅抛光液是什么？

oecr-xjh · *发表于* 2013-8-19 09:50:15

表面橘皮问题解决，证实起因为：化学作用>机械作用

lansu · *发表于* 2013-10-23 15:25:03

氧化铝抛光液加入氧化硅抛光液？

yuliang518 · *发表于* 2014-5-15 06:58:59

[讨论] 氧化铝抛硅（Si）单晶，表面起橘皮的真正原因