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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光电基础理论及学术研究 › 关于小孔测量求助

[求助] 关于小孔测量求助

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发表于 2014-2-24 09:58:26|韩国 | 查看全部 阅读模式

10微米-100微米范围的小孔，不仅仅测孔径，包括深孔内部结构如何变化如：孔壁平行程度，直线程度，孔径圆度等，请问用什么方法及什么装备去测量，大家给建议，谢谢~

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测量, 如何, 装备
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