关于AR镀膜

a520200 · 发表于 2015-9-19 23:19:33

生产绿色颜色膜，使用TI305 +SIO2 ，40度冷镀，镀钛吸收很大，有没有什么办法改善工艺？请大神赐教

huang12949 · 发表于 2015-10-5 12:41:29

加氧气，如果加了还不行，就加大流量

wlinliu · 发表于 2015-10-23 19:11:14

镀钛一定要加大氧气的流量，实在不行就降低蒸发速率，最高不要超过0.3nm/s

wlinliu · 发表于 2015-10-23 19:13:09

这个膜我之前有过深入的研究，如果需要详细探讨可以联系我的QQ，1056988945

苏州膜头 · 发表于 2015-10-27 20:48:48

实在不行可以考虑换材料啊。

kelvin874874 · 发表于 2015-11-20 09:35:23

要使用Ion gun壓
Ti3O5需要ION GUN@冷鍍
否則要加熱

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