关于三次外延

wanglan · 发表于 2005-5-20 16:30:00

先在一次外延片上刻出做掩蔽用的二氧化硅，长二次外延时，有二氧化硅的地方长出外延，没有二氧化硅的地方会不会长上外延。如果长上外延，如何再将二氧化硅去除，继续生长三次外延

youfishno · 发表于 2005-5-21 23:40:00

有二氧化硅的地方不会长出外延
没有二氧化硅的地方会长上外延

wanglan · 发表于 2005-5-23 19:08:00

呵呵，为什么有二氧化硅的地方不会长出外延，请赐教

ananll · 发表于 2005-5-24 18:14:00

你自己都说了二氧化硅是用来做掩蔽用的，还长什么外延啊