wanking
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悬赏 元光电贝
问:sic掺杂采用什么氮源？ 
  提问于 2005-7-17 02:40:00
小弟想用离子注入法对sic掺杂，但是不知道要用什么N源比较合适。NH3可以么？
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wlsly
2005-7-18 18:34:00
楼主是做SIC的？用氮气不行吗？？？
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