哪位知道蒸硅时具体的工艺参数如何?

wangsumei3000 · 发表于 2005-12-5 17:26:00

现在想蒸一下硅，可是不知道具体的工艺参数是怎样？
哪位大侠知道用电子束蒸发的方法蒸硅（Si）时，用大多的高压，束流，和灯丝电流，蒸发蒸空至少要多少，
还有焦斑是大点好，还是小点好？怎样调节？谢谢？

molang2003 · 发表于 2005-12-7 03:31:00

关于具体那一种膜料的工艺参数的得来，很大程度要看是什么样的镀膜设备.所以,这个问题真不好说!

sanma · 发表于 2005-12-8 03:03:00

不同的设备，会有很大的差距，特别是折射率，国产机折射率要低些。其对真空度，温度和蒸发速率都很敏感。

wangsumei3000 · 发表于 2005-12-8 05:02:00

我用的是国产南光550机器。因为以前从来没有做过这种材料，老板也不知道，让我自己摸索。
可是我都不知道该怎样摸索，高压和束流大约是多少，怎样的结果算是比较好！心里一点都没有数！
好麻烦！

lonnyang · 发表于 2007-11-12 15:47:39

工艺是需要慢慢摸索的

shaodong1311 · 发表于 2007-11-12 18:03:25

恩,我同意楼上意见... ...

小技工 · 发表于 2007-11-27 17:14:00

使用C坩埚，慢升电流与慢降电流，防止出现起包，另电流大概200－300mA，光斑大点好，折射率要靠自己摸，真空度3×10－3pa以下

coatinger · 发表于 2007-12-3 20:43:40

使用C坩埚，慢升电流与慢降电流，防止出现起包，另电流大概200－300mA，光斑大点好，折射率要靠自己摸，真空度3×10－3pa以下
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电流可以再大点。

zzzz · 发表于 2007-12-5 11:35:32

不同的枪不同的电流
这种东西,自己试打打就知道了
可见楼主比较懒

章钱国 · 发表于 2008-1-4 03:57:37

这种机器我做过，与韩国机大致一样的啊。自己试试，如果真的解决不了，再找我

libor · 发表于 2008-1-4 12:33:39

这里有用sputter读摸的么？。。。。。。。。。