刚开始真空镀膜，诚心请教各位达人！

salinge2211 · *发表于* 2006-12-7 10:22:00

最近刚刚开始真空热蒸镀金属膜，用的是钽舟和氮化硼束源坩埚，膜厚监测用的是台湾产的频率计。

现在小弟在蒸镀Al的过程中出现了很多问题，请各位高手指明：

1.频率计上的晶振片频率显示变化很大，即使在没有加热蒸镀源的时候也会有微小的变化，尤其在蒸镀过程中频率的显示很不稳定，只有到1000多度以上的时候才会相对正常的频率下降；

2.根据晶振片频率变化和膜厚的关系式算出来的数值约为每400个晶振点的下降对应2微米，不知道这个结果是否正确；

3.如何将蒸镀出来的金属膜控制在100nm一下，并且蒸镀速率控制在零点几个到几个A之间；此外挡板开启时间等蒸镀过程中需要注意的地方有哪些；

4.如果可以的话，麻烦达人介绍一下详细的热蒸镀金属膜的操作过程和注意的细节

现在这儿多谢了！！！！！

yuanguoxiang · *发表于* 2006-12-8 00:32:00

这个问题可从以下几点来说：

１：膜厚的问题：各镀膜机型其各种参数不一样，膜厚仪显示的膜厚与所堵材料的密度．声阻抗．晶振片接收信号的工具因子等有关，要通过换算才能确定所镀膜厚的设定值；

２：镀金属膜应用冷基态，不应加热；

３：在打开挡板前，应将膜料熔化完，然后再打开挡板，直到所设定的厚度．

不妨试试

salinge2211 · *发表于* 2006-12-8 03:03:00

多些楼上赐教！

yogankin · *发表于* 2009-7-6 15:01:55

我是嘉兴晶控电子有限公司的,我公司主要从事晶振片的生产,采用全进口设备生产,质量跟进口INFICON,FILTECH一样,价格较进口的有很大优势,成都光机所使用我们的晶振片.我们的客户有水晶光电,凤凰光学,日本京瓷等.附件是我公司的简介,如有需要我们可以提供样品试样.谢谢

yogankin · *发表于* 2009-7-6 15:02:32

本帖最后由 yogankin 于 2013-8-17 11:42 编辑

我是嘉兴晶控电子有限公司的,我公司主要从事晶振片的生产,采用全进口设备生产,质量跟进口INFICON,FILTECH一样,价格较进口的有很大优势,成都光机所使用我们的晶振片.我们的客户有水晶光电,凤凰光学,日本京瓷等.附件是我公司的简介,如有需要我们可以提供样品试样.谢谢,联系方式0573-83679778,15888310198杨先生